二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 6M #9006097 待售
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VEECO/SLOAN DEKTAK 6M晶片测试和计量设备是测试和测量半导体和其他薄膜表面质量的有力而有效的方法。这套系统使用先进的石英晶体天平,以0.0668 µm(0.000261 in)的分辨率测量步骤高度、地形、二维表面轮廓以及样品上的特定缺陷位置。高分辨率测量是通过专利电容桥式石英晶体天平实现的,能够实现非常低的噪声输出和高灵敏度以及优异的重复性和长期稳定性。该装置的可调测量范围可达10毫米(0.394英寸),并具有适合大多数实验室设置的小占地面积。它还包括一个集成的隔振器,以降低噪音水平和确保准确的测量。石英晶体平衡是由设计用来承受高温和环境应力而不降解晶体结构的材料构成的,额定测量温度可达1600 °C (2912 °F)。该机器配备了高分辨率的图形液晶触摸屏,便于设置和导航,以便快速进行测量和记录数据。VEECO DEKTAK 6M可用于在其内部内存中最多存储五个参数,并配备USB端口连接到用于数据存储、分析和报告的工具。此外,干燥空气净化资产可用于减少高温过程中的腐蚀。该模型设计用于各种晶圆计量和测试应用,包括薄膜厚度测量、表面粗糙度、缺陷识别和成分分析。此外,该设备可用于研究晶片的电气特性及其内置的电气测量特性。所有测量参数都可以通过SLOAN DEKTAK 6M软件进行管理,并可以各种文件格式导出。这个功能广泛、功能强大的系统对于任何需要精确、可重复晶圆测试和计量的实验室来说都是一个巨大的财富。
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