二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 6M #9105277 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK 6M是一种晶圆测试和计量设备，设计用于测量半导体晶圆上的表面和薄膜。该系统提供扫描隧道显微镜（STM）和原子力显微镜（AFM）技术的组合，提供半导体晶片的深度表面表征。它能够产生具有纳米级分辨率的晶圆表面的三维地形图。VEECO DEKTAK 6M单元主要设计用于半导体生产过程控制。该机可用于在生产过程中精确测量和监测半导体层厚度。这允许分析关键的过程控制步骤,并确保产品质量符合客户要求。该工具也非常适合在生产过程中创建质量指标和文档标准。SLOAN DEKTAK 6M资产还能够监控阶梯高度、平坦度和地形等晶圆参数。其测量范围包括丁基光刻、合金厚度、电阻率、层间介电等多种半导体参数。模型得到的测量数据可用于评估半导体层的均匀性和过程控制。DEKTAK 6M设备集成了多种功能,可确保准确可靠的数据收集和分析。它包括一个机动化的精密级，允许晶圆表面的精密运动和定位。该系统还与一个可编程的教学单元集成在一起，这一单元能够有效运作，并自动进行基于频率的数据收集以进行表面分析。对于非接触式数据收集，该机还有一个配备发射阵列和激光扫描工具的半导体模块。VEECO/SLOAN DEKTAK 6M资产与一系列软件应用程序兼容，包括VEECO WaferPro Software，它提供了强大的数据管理和分析工具。此软件专为便于数据处理而设计,可创建STM或AFM数据的2D或3D绘图。它还提供各种可视化工具，如横截面和统计绘图，以便进行深入分析。为确保最大性能,该模型配备了环境监测设备,可调节测试环境中的温度和湿度。这确保了整个过程中的稳定测量。VEECO DEKTAK 6M是半导体生产中晶圆测试和计量的集成计量解决方桉。它提供了扫描隧道显微镜和原子力显微镜技术相结合的半导体晶片的精确表面表征。它还提供了可靠和强大的功能,如精确的电动阶段、可编程的教学系统,以及用于高效数据管理和分析的综合软件套件。