二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 8 #9234670 待售
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VEECO/SLOAN DEKTAK 8是一种自动化晶片测试和计量仪器,用于测量半导体晶片的厚度、平坦度、弓/经度、表面粗糙度和缺陷密度等临界参数。它具有集成的双光头设计、具有双变速的精密编码器设备以及用于自动晶圆处理、定位和扫描的CompactHandler II。VEECO DEKTAK 8提供了高精度和可重复的测量,这要归功于一种创新的边缘检测和信号返回算法,适应不断变化的晶圆特性。该系统还具有基于参考点的自动晶圆扫描功能,允许用户在参考点上定义扫描区域。在平坦度/经度测量方面,SLOAN DEKTAK 8采用了最先进的二维激光位移传感器,能够测量晶圆很小的厚度变化。它还具有利用高端阶段的稳定性和可重复性的能力,允许极其精确的测量。DEKTAK 8还配备了一个电动级,用于移动光头内部的晶圆表面,用于测量表面粗糙度。该单元能够检测、测量和分析亚微米级的表面缺陷。在缺陷检测方面,VEECO/SLOAN DEKTAK 8配备了高分辨率CCD摄像头加上计算机控制的自动对焦接口,可实现自动成像、缺陷识别、分析和准确的高度确定。该机器还具有自动缺陷分类和缺陷数据库查询功能。此外,VEECO DEKTAK 8设计为洁净室使用,使用特别设计的环境室以减少粒子产生,并提供最大限度的免受污染物的保护。该工具还包括气动设备,用于在测试过程中保持动态气氛。SLOAN DEKTAK 8提供了一套广泛的软件应用程序,用于控制模型和数据分析。这些应用包括自动校准、数据记录、晶圆映射、缺陷检测和报告等等。该仪器还提供了广泛的用户定义参数选择,这些参数可用于根据设备的特定要求定制每个测试。总体而言,DEKTAK 8是一种极其精密的高端晶圆测试和计量设备,为半导体晶圆测量提供了最高的精度和可重复性。集成的硬件、先进的软件以及优越的环保,使得VEECO/SLOAN DEKTAK 8成为现代半导体制造的完美选择。
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