二手 VEECO / SLOAN DEKTAK 8 #9244494 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK 8是一种高精度晶圆测试和计量设备，在晶圆级几何的确定和表征方面提供了卓越的精度和重复性。该系统允许精确测量各种晶圆参数，如表面地形、步高、电阻率、掺杂、污染和热/机械性能。VEECO DEKTAK 8是一种变力探头单元，使用安装在两轴倾斜平台上的多传感器晶体力传感器尖端。它可以测量样品表面的俯仰和侧倾角度以及Z高度测量，并配有高端PC和数据采集软件以实现数据捕获和分析。机器包含一个光学字符识别，可以轻松处理晶圆上的文字印记，以协助确定样品的来源和取向。SLOAN DEKTAK 8提供先进的3D成像技术,用于精确的表面剖析。它具有5.2nm的2D高度轮廓分辨率和电阻率测量的5.0mV分辨率。该刀具可测量大至200毫米的尺寸，工作面积为100 x 45mm。包括一个空气轴承，允许优越的噪音和减振。为长期运行而设计，导轨与探头之间有高温陶瓷绝缘层。DEKTAK 8设计坚固可靠，长期精度等级为0.15 nm，可重复性高达0.05 nm。它具有卓越的性能和特点，非常适合先进的晶圆测试和表征。