二手 VEECO / SLOAN DEKTAK I #9018953 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK I是一种晶圆测试和计量设备，设计用于广泛的半导体过程控制需求。该系统配有经过精确测试的测量机构,可在-35至350°C的温度范围内操作。VEECO DEKTAK I晶圆测试设备有两个手柄、两个可调真空卡舌和两个级高度选择器的工作台。真空标签允许样品晶片的直接接触和操作。真空片的配置可以根据需要轻松调整，允许各种不同高度和大小的晶片。SLOAN DEKTAK I提供了全系列的光学晶片表面映射,其倾斜和平面测量值可达± 5.0°,步长分辨率为1 nm。这样就能够以高分辨率捕获最高精度的曲面图像,以实现最佳的过程控制。DEKTAK I还具有集成的自动化接口,能够与表面计量仪器集成,如刮刮笔、XY扫描仪和视频显微镜。例如,Scratch Pen可用于表面检测和表征,而Video Microscope可用于微缺陷检查。该单元包括一个低接触力的高精度样品支架，其设计目的是在提供样品保护的同时最大化机器的热均匀性。VEECO/SLOAN DEKTAK I还包括一个独特的Focus Tip，它允许调整晶圆表面图的焦点。VEECO DEKTAK I晶圆测试和计量工具还配备了一个专有软件包，用于控制资产的所有操作，如索引和缩放、编程和测试、错误分析和报告，以及生成和管理统计数据。总之，SLOAN DEKTAK I是晶圆测试和计量的一个高度精确和可靠的模型，它提供了多种功能，以确保在不同范围的半导体过程中的最终精度和准确性。