二手 VEECO / SLOAN DEKTAK II #78838 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK II是半导体行业一流的晶圆测试和计量设备。它是用于半导体器件表征和工艺优化的最先进的高性能工具。VEECO DEKTAK II利用独特的光学地形和机械偏转测量系统，在晶圆和其他基板上创建亚微米剖面。SLOAN DEKTAK II有一个集成的软件单元，允许用户快速准确地测量表面粗糙度、表面高度和其他晶圆/基板参数。DEKTAK II采用低电枢质量的直线电机轮廓工具和带有集成干涉仪的加固液冷级。利用这台机器，电枢的运动是自我优化的，刀具可以获得0.0001英寸（2.5微米）精度的无单位精度测量。这种性能适用于所有半导体加工表面，包括电介质、金属、多晶硅和金属对电介质。板载扫描控制、分析和路径规划（SCAP）软件包允许使用多种绘图类型和统计报告进行详细的扫描路径规划,从而节省了时间和金钱。SCAP可用于集成自动测试和测量例程。软件还支持在一个会话中与所提供的样本持有者配置多个基板的功能。此外，VEECO/SLOAN DEKTAK II利用多光源成像资产和全画幅高分辨率数码相机。此成像模型用于提供整个基板的可视快照。使用基板的漫射投影，用户不仅可以快速确定基板特性，还可以识别任何非均匀性或缺陷。VEECO DEKTAK II通过功能齐全的图形用户界面设计为用户友好。其高精度的测量能力和成像设备使其成为优化半导体制造行业关键工艺的完美工具。VEECO继续以技术先进的特性更新其产品，例如其集成的高压/高温（HPHT）能力，允许晶片在极端条件下进行处理。SLOAN DEKTAK II具有精确度、通用性和可靠性,是开发和优化关键半导体制造工艺的理想系统。