二手 VEECO / SLOAN DEKTAK II #9061099 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK II是一种晶圆测试和计量设备，用于半导体行业的各种应用。它使用自动扫描或高分辨率成像技术来测量半导体晶片的特征，包括线宽、嵴柱高度和蚀刻深度等物理特征。该系统能够通过二维剖面数据采集自动测量晶片的表面地形。它还可以测量表面粗糙度、反射率和附着力等表面物理性质。该单元利用光学和电气探针的组合来测量晶片的电参量，如电阻、电容和电流泄漏。手写笔类型剖面仪用于检测颠簸、山脊和山谷的位置。手写笔能够测量高达5微米的特征和高度，分辨率为0.1微米。它配备了接触力显微镜，能够测量高达0.1纳米的特征。机器还可以测量晶圆表面的平整度、平面度和不均匀度。利用CCD摄像机和改进的散光光束轮廓检测器对晶片表面进行成像，以测量形状偏角、步长和斜率精度等其他参数。CCD相机用高精度传感器进行校准和监控。该工具还能够通过测量蚀刻、沉积、清洁、抛光和掺杂技术的效果来测试各种生产工艺。它还提供了在高温（最高250C）和真空环境下进行测试的能力。用户可以从各种线条样式中进行选择,从直线和圆形到任意阵列。VEECO DEKTAK II还能进行自动晶片装卸。它配备了晶片处理资产，旨在减少潜在的污染，以及自动晶片装卸的机器人处理模型。此外,该设备使用高速PPG、ESD、短时分析和标称测试功能提供高端性能。SLOAN DEKTAK II晶圆测试和计量系统是一种用于半导体行业多种应用的工具。它能够测量各种属性，如表面地形、电气参数、表面粗糙度、反射率和附着力。它还提供接触力显微镜、CCD相机校准、自动晶片装卸等先进工具，用于可靠准确的表面分析和计量。