二手 VEECO / SLOAN DEKTAK IIA #293752410 待售
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VEECO/SLOAN DEKTAK IIA是为半导体测试应用而设计的高性能晶圆测试和计量设备。VEECO DEKTAK IIA具有多种集成功能,使其成为半导体测试的理想系统,如静态电气性能的自动测量和串联扫描。此外,它还具有先进的曲面轮廓单元,使操作员能够精确定义晶圆曲面以监视晶圆形状、临界尺寸和其他电气特性。该单元包括一个16 "x 8"晶片级,可同时测量直径不超过8英寸的晶片。ISO标准的6点探测机能够灵活对准晶圆上的探针,以优化测试质量。集成扫描仪允许自动测量静态电气特性和对较大晶圆区域进行串联扫描。软件还支持晶圆测量结果的数据分析、离线操作和数据存储。SLOAN DEKTAK IIA为高精度测量提供了先进的仪器精度和重复性。测量精度通过侧向和垂直样品定位的编码器刻度以及防止俯仰和侧倾误差的精确框架来确保。激光测量仪采用高精度、稳定的六轴激光干涉仪测量样品倾斜度和结构尺寸和形状。最后,资产包括一个直观的用户界面,允许操作员快速设置和运行测量程序。用户友好的图形环境简化了参数选择,以最大程度地减少设置时间。该模型还包括一系列过程控制,以确保可重复和准确的测量过程。总之,VEECCDEKTAK IIA是一种先进的晶圆测试和计量设备,满足了半导体测试的要求,并提供了具有集成特性的高精度结果,使系统易于使用。晶片级的尺寸,加上扫描仪和综合计量工具,使其成为晶片测试和计量测量的综合可靠单元。
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