二手 VEECO / SLOAN DEKTAK IIA #9018954 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK IIA是一种领先的晶圆测试和计量设备,提供先进的计量能力,为高级半导体器件的表征提供有意义的数据。该系统由几个组件组成，包括晶片级、自动聚焦单元、光学显微镜和自动转台。VEECO DEKTAK IIA有一个晶片级，可容纳多达八个晶片，为晶片对准和定位提供高达十个自由度。舞台可以以两个笛卡尔平行线、四个倾斜轴、两个旋转和两个曲面跟踪度移动晶圆。舞台还可以容纳300毫米和200毫米晶圆。自动聚焦机在整个测试过程中将晶片保持在1 μ m的最佳聚焦范围内。自动转换器允许精确放置晶片,实现了允许一致结果的可重复性。该工具配备了高速、高分辨率的光学显微镜，能够精确测量50海里以下的特征。SLOAN DEKTAK IIA测量电阻率、地形、临界尺寸（CD）和覆盖级别、设备结构以及其他设备参数。它是迄今为止VEECO提供的最灵活的资产，在各种环境中提供了可靠的控制和精确的结果。此外,该模型还具有几种提高用户生产率的软件工具。该设备能够快速、准确地收集和分析高级流程步骤。它允许进行定量评估，以便能够监测晶圆产量，确定可重复的器件区域，并提供宝贵的工艺开发反馈。此外，DEKTAK IIA与光束和X射线检查工具兼容，使製造商可以精确测量晶圆上的各种结构。综上所述，VEECO/SLOAN DEKTAK IIA是一种多功能晶圆测试和计量系统，它提供了先进的能力，为高级半导体器件的表征提供关键数据。该单元配备了高速、高分辨率的光学显微镜，能够测量分辨率为50 nm的特征。它提供了各种设备参数的快速、精确的数据收集和分析。此外，其独特的软件工具提高了用户的生产率，并允许进行量化评估，用于监测晶圆产量，从而增加利润。