二手 VEECO / SLOAN DEKTAK IIA #9061410 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK IIA是一种自动化晶圆测试和计量设备，设计用于半导体材料的最高精度计量。它为测量临界尺寸（CD）、迭加对准、轮廓深度、计量特性以及介电层和金属层的表面轮廓提供了最大的测量精度。系统可测量1.5 nm至0.5 µm的CD。VEECO DEKTAK IIA具有一个大型穿越平台，提供13 "x 6"的视场和非常长的Z轴范围，用于扫描和评估晶圆。配备高分辨率压电控制级，提供最大精度和重复性。该单元配备了亮场和暗场成像检测系统，一种不利的光线筛选功能，以及几种激光用于瞄准测量。该机器提供晶片级温度控制,以确保测量过程中的精度.其先进的阶段控制方法利用智能算法，允许精确晶圆对准和正直验证。它还有一个集成的传感器和控制器阵列，有助于最大限度地减少头部污染。SLOAN DEKTAK IIA在广泛的体系结构和应用程序中提供高吞吐量、短周期时间和准确性。它有一个数字数据过滤器和传送工具来处理和收集测量数据。该资产还允许自动跟踪数据,以便跟踪数据进行流程后分析。DEKTAK IIA凭借其专有的图像识别算法提供了出色的晶圆工具对准精度。该模型提供了行业中独一无二的校准方法。它还具有一整套软件工具,包括统计设备、模式识别、成像和数据分析功能,以及一套自动化测试,可实现可重复测量。总而言之，VEECO/SLOAN DEKTAK IIA是测试和计量半导体的理想解决方桉。其高精度的测量能力、先进的算法和自动化，以及全面的软件工具套件，使其成为一个可靠而强大的计量设备，能够满足现代半导体制造商的需求。