二手 VEECO / SLOAN DEKTAK IIA #9289804 待售

ID: 9289804
Profilometer.
VEECO/SLOAN DEKTAK IIA是为提高表面和薄膜计量精度而开发的一种精密晶圆测试和计量设备。VEECO DEKTAK IIA广泛应用于各种半导体和研究实验室,能够对平面、阶梯形和渐变曲面进行高分辨率测量。晶圆测试和计量系统以干涉测量原理为基础,使用空气轴承笔绘制晶圆表面图。用位于触控笔尖端的传感器扫描表面,该传感器测量晶圆的表面地形。当触控笔在晶片表面上移动时,传感器会以紧密间隔获取数千个数据点,这些数据点用于重建晶片表面的三维图像。SLOAN DEKTAK IIA配备了几个先进的功能,使晶圆测试和计量更加准确。该单元使用高级图像分析算法来识别诸如边、角和线段等特征。它还配有高分辨率的视频显微镜,可用于非常详细地查看晶圆表面。此外,机器可以通过一次扫描来测量多达四个基准点,将多个测量值减少到一个平均值,并分析二维地形分布,如颠簸、山脊和山谷。DEKTAK IIA还集成了包括扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、原子力显微镜、坐标测量机等多种材料测试仪器。这允许了先进的晶圆测试过程,如表面粗糙度的测量、涂层厚度的测定以及二维统计的计算。总体而言,VEECO/SLOAN DEKTAK IIA是精确晶圆测试和计量的可靠工具。凭借其高分辨率的传感能力和先进的图像分析算法,晶圆测试和计量工具使用户能够准确测量表面地形,准确表征晶圆表面的机械、物理和化学特性。
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