二手 VEECO / SLOAN DEKTAK IID #9160091 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK IID是一种先进的晶圆测试和计量设备，设计用于对半导体晶圆材料进行快速、准确的分析。该系统由四个主要组件组成：扫描电子显微镜（SEM）、集成轮廓仪、粒子/金属探测器和光学显微镜。集成剖面仪测量晶圆的几何形状，达到三维精度以及垂直位移和倾斜度。扫描仪在收集地形信息时沿着X和Y轴移动晶片。它可以测量小至0.1 μ m的特征，分辨率为0.25 μ m。粒子/金属探测器是一种高灵敏度探测器，用于识别和定位晶圆表面的微量金属元素和粒子，从而能够及早检测缺陷。光学显微镜是一种改进的数字显微镜，能够放大到1600倍，并与SEM图像迭加，以准确识别缺陷。VEECO DEKTAK IID还提供了易于使用的图形用户界面（GUI）。GUI允许用户快速直观地设置单元，方便各级用户操作。机器包括一套全面的分析工具，使用户能够进行表面粗糙度、影印分析、步高测量等测试。为了获得最大的正常运行时间和吞吐量,SLOAN DEKTAK IID的设计支持自动晶片加载和卸载,并具有多个sampleholder配置。样品支架的设计便于插入、拆卸和交换。该工具还包括一个自动工艺校正资产，该资产动态调整其参数，以提高工艺优化的准确性。总之，DEKTAK IID是一种先进的晶圆测试和计量模型，旨在对半导体晶圆材料进行快速、准确的分析。它具有高灵敏度的粒子和金属检测器以及早检测缺陷、易于使用的GUI、综合分析工具、自动过程校正设备以及自动晶片装卸支持。VEECO/SLOAN DEKTAK IID是半导体晶片测试和计量的理想选择。