二手 VEECO / SLOAN DEKTAK IID #9237470 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK IID是一种晶圆测试和计量设备，旨在快速准确地测量薄晶圆的物理特性。该系统采用了与VEECO系列晶圆探针相同的先进技术，但增加了测量步高、图像分辨率等晶圆表面特征的能力。这允许分析半导体过程控制和屈服优化。该单元由封闭式测试室和显微镜、扫描仪、电荷耦合器件（CCD）相机和电子设备组成。封闭式测试室与显微镜光学器件相连，包含精确校准定位的综合标准。该扫描仪用于定位样品，CCD相机确保晶圆、特征和其他测试参数的精确定位和测量。电子包包括信号调节电子、长期内存包和计算机处理器。在操作中，VEECO DEKTAK IID能够测量和监测晶圆特性如平坦度、步高、伪表面和高分辨率表面成像。机器在整个晶片上也有2 µm的分辨率。为确保精确测量，该工具设计有振动阻尼机构，可快速减少扰动对晶片的影响。该资产的测量范围为0nm至6.0µm，与类似系统相比，能够以更精确和可重复性的方式测量晶圆。此外,SLOAN DEKTAK IID还具有用户友好的软件包和参数设置,可以对其进行修改以满足研究和生产要求。这些配置使模型易于配置和操作,以实现快速测试和高产率结果。总体而言，DEKTAK IID是一种强大可靠的晶圆测试和计量设备。其精确、可重复的测量对于半导体工艺控制和产量优化具有重要价值。灵活的软件包和可靠的设计使系统非常人性化，确保了它在工业测试市场的持续成功。