二手 VEECO / SLOAN DEKTAK SXM #9361063 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK SXM是半导体生产过程中使用的晶圆测试和计量设备。该系统非常适合非接触表面测量的半导体晶片，尺寸可达300毫米，厚度可达10毫米。该单元用于测量关键特征（如电阻率、层厚度和其他材料属性）,以及表面地形特征（如深度和半径）。VEECO DEKTAK SXM是一种扫描探针显微镜（SPM），可以测量晶圆表面的静态或动态地形。静态扫描用于可视化晶圆的表面并进行非接触式测量。动态扫描提供了曲面的三维（3D）地形图像。这允许分析晶片表面的阶梯层。SXM机器测量多个参数,如表面纹理、步长、线几何形状、表面粗糙度和薄膜厚度。它能够测量尺寸达300纳米的特征。该工具还可以测量曲面平坦度和其他2D和3D特征。资产配备了变速驱动马达，允许探头以精确的控制扫描表面。在探针和晶片表面之间调整力，以优化测量分辨率。为了最大限度地提高测量精度，该模型包括自动调整探头高度的自动静电校准设备。SXM系统设计用于快速、可靠和准确地测量非接触表面特征。该单元能够同时测量几个样本，可用于测量平面和曲面。它还配备了多种用于数据处理、图像增强和分析的软件包。该机设计方便用户，适用于广泛的生产应用。