二手 VEECO / SLOAN DEKTAK V-200 Si #293609202 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK V-200 Si是一种晶圆测试和计量设备,可对各种半导体结构进行可重复和精确的测量。它提供多种测量功能,例如确定表面地形、临界尺寸、闸门高度、电阻率和侧壁角度。V-200 Si利用非接触式光学剖面仪测量晶圆表面高程，实现了对表面地形数据的精确和可重复采集。它还提供各种分析模式,如3-D点分析、线扫描、区域扫描、游标和轮廓验证扫描。此系统允许用户查看各种配置文件参数,包括高度和宽度,以及有关配置文件的详细信息,包括逐行数据。为了精确测量临界尺寸（CD）,使用了该单元的On-Axis CD/Sidewall角度测量功能。此测量CD与关联的侧壁角度测量,在一个步骤.与其他系统相比，V-200 Si能够获得低至0.1纳米特征的CD测量，角度测量低至0.1度。V-200 Si还可以测量纳米和微米范围内的栅极高度。其横截面微观分析使用户能够以轮廓和横截面模式分析整个轮廓。要测量计算机上的电阻率,用户可以从各种可扫描的探头提示中进行选择,包括手动和自动探头,以及操纵杆、扫描和光学模式。V-200 Si工具旨在利用高精度阶段和有效的表面扫描功能提供可靠和准确的数据。此外,该资产还具有用户友好界面,允许用户自定义和保存操作员报告。为了增强性能和操作,该型号与Windows 10兼容,并与各种操作系统兼容。这有助于在计算机之间传输数据,并提高设备的整体效率。