二手 VEECO / SLOAN DEKTAK V-200 Si #9412436 待售

VEECO/SLOAN DEKTAK V-200 Si是专门为硅基材料设计的晶圆测试和计量设备。它提供半导体器件和印刷电路板的非接触式3-D表面测量。该系统提供高精度、分辨率和可重复性的测量,以及数据收集的完全自动化和灵活性,以满足半导体制造商的严格要求。V-200 Si是一种高精度的3轴显微镜，可以测量直径达200毫米的晶片。配备50-200微米高精度垂直测量轴，提供业界领先的测量精度和重复性。该单元设计用于测量平坦曲面和弯曲曲面。它可以测量地形和厚度以及活跃的设备级特征，如沟槽、接触通风孔和门氧化物。V-200 Si由高速、5轴运动控制机提供动力,X、Y和Z轴的分辨率为0.2nm,最大移动速度为320 nm/s。该工具还具有倾斜、弯曲和扭曲校正功能,可提高表面测量精度。多区域数据采集资产可确保高速、准确的数据收集。此外,还可以为特定测量设置高达9 fps的帧速率,从而以更少的数据开销实现更快的结果。该型号配备了对设备性能至关重要的专有软件和硬件。软件包括GUI和数据分析程序,允许用户控制和分析收集的数据。它还可以集成到用户现有的质量和制造控制系统中。此外,该设备还具有特殊的自动化和安全功能,能够快速高效地进行测试,同时保持操作员的安全。VEECO V200-SI能够提供一致、准确的结果，非常适合测量半导体和印刷电路板晶片。该系统具有全自动功能、灵活的数据收集、高精度和集成软件,是半导体行业的宝贵资产。