二手 VEECO / SLOAN V200-SL #9257117 待售
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ID: 9257117
晶圆大小: 8"
Surface profiler, 8”
With MACTRONIX wafer transfer tool
Power supply: 120 V / 5.5 A.
VEECO/SLOAN V200-SL是来自VEECO Metrology的自动化晶圆测试和计量系统。它是为了先进的晶圆表征和分析材料如氮化的、碳纳米管、半导体和其他光电晶圆。VEECO V200-SL具有高精度、非接触式成像和多波长各种材料的特性。它包括一个成像扫描仪,可提供高达13.3X的放大倍率,分辨率为1到10 nm。该系统还采用了SLOAN高分辨率光学剖面仪,用于精确的表面剖面测量。SLOAN DEKTAK V-200 SL能够快速分析具有广泛动态范围特征、高吞吐量和多用途映射功能的各种样本。此外,它的可自定义模式和参数提供了最大的灵活性,并允许用户快速轻松地设置测试。SLOAN V200-SL先进的晶圆测试和计量能力包括图像相关分析、材料对比度和光致发光成像、表面粗糙度和缺陷检测,以及其他各种分析和表征技术。其全面的软件套件使用户能够快速分析数据,自动化数据收集和分析。V200-SL还提供了一系列扩展其功能的选项。它最多支持两个腔室开关,能够在各种测试和测量模块之间快速传输样品。它还支持多个采样阶段和各种可互换的物镜,用于高速扫描和成像。总体而言,VEECO/SLOAN DEKTAK V-200 SL是一种可靠、成本效益高的晶片测试和计量系统,可对氮化零、碳纳米管、半导体和光电晶片等材料进行全面而精确的分析。它的高分辨率成像扫描仪、光学剖面仪、图像关联分析以及可定制的模式和参数使其成为一种强大的工具,能够准确、精确地表征一系列材料。
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