二手 VEECO V200-Si #9234710 待售

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ID: 9234710
Surface profiler.
VEECO V200-Si是一种晶片测试和计量设备,设计用于在小型或大型晶片上实现快速、可重复的测量。VEECO V 200SI系统具有一个集成的计量平台,该平台结合了经过验证的光学和电气技术,用于处理晶片,并具有多种300 mm和200 mm配置。它为半导体、MEMS、LED和其他薄膜应用提供业界领先的工艺和测试功能。V200 SI单元具有2轴晶片级,计量运动范围为x方向6mm, y方向20mm,从而实现晶片的最佳定位。其高精度光学对准机设计用于快速、可重复的晶圆定位和测量。VEECO V200 SI也有一个快速激光自动对焦机制,以确保一致的晶圆打印性能。V200-Si具有大量的计量和测试组合,并具有独立使用或多站集成到测试/探测平台的选项。它具有用于精确测量放大图像的干涉仪,用于精确测量薄膜层的厚度和高度。它还通过四点探针工具提供电气测试能力,用于测量二极管、晶体管和其他微电子结构的电性能。V-200 SI资产是为各种工艺/测试条件定制设计的。其最佳的气密环境消除了测试和测量过程中的外部污染。它还提供闭环热控制功能,具有用于精确温度控制的定制加热/冷却速率。DEKTAK V-200 SI通过其直观的用户界面提供强大的自动化功能,用于设置、监视和控制测试/探测过程。它还无缝集成到VEECO工艺工具中,包括分子束外延(MBE)、原子层沉积(ALD)和化学机械抛光(CMP)。V 200SI模型是市场上最先进的测试/探测平台之一。它结合了计量和电气测试功能,为各种半导体工艺和测试应用提供了最佳性能和准确性。它是生产级晶圆测试和计量需求的理想平台。
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