二手 VEECO V200-Si #9254651 待售
网址复制成功!
单击可缩放
ID: 9254651
晶圆大小: 6"
优质的: 1997
Profilometer, 6"
2D Measurement
Substrate, up to 8"
Probe force range: 0.3-30 mg
Programmable table, 8"
With X, Y: 8" x 8"
Rotation: 360°
Manuals and spare parts included
Camera:
Remote controlled video camera
Zoom lens: 60x - 420x
Scan length: 50 µm to 200 mm
Stage leveling: Automatic
Maximum sample thickness: 45 mm
PC Without storage media
Operating system: Microsoft Windows 3.1
Processor: Pentium core, 8.0 MB RAM
Vertical range: 25 A - 2620 A
Vertical resolution:
1 A / 65 kA
10 A / 655 kA
40 A / 2,620 kA
1997 vintage.
VEECO V200-Si是一种晶圆测试和计量仪器,非常适合监测制造过程中半导体的特性。它设计用于处理正面和背面晶片,尺寸可达200毫米。该设备提供了精确测量薄膜沉积过程中掺杂物浓度和层厚度所需的精度。该系统采用多种检测技术来捕获晶圆表面的数据,包括原子力显微镜(AFM)、电容测量(ECM)和电子能量损失光谱(EELS)。使用AFM选项,VEECO V 200SI可以获取表面地形信息以及详细的表面特征图像。ECM和EELS系统与AFM相结合,提供了一套全面的测量,可以分析晶圆特性到纳米级分辨率。V200 SI还包括分析和计量软件,它简化了数据分析过程。该软件使用户能够快速准确地测量和表征薄膜的特性。该软件还可用于生成各种二维和三维图表,用于绘制过程数据和跟踪晶圆随时间推移的性能。该单元与一系列样品处理系统兼容,方便地将DEKTAK V-200 SI集成到生产线中。该仪器还配备了安全联锁和自动校准功能,以确保正常运行和一致的结果。此外,还可以远程操作VEECO DEKTAK V-200 SI,从而允许用户快速调整设置和参数,而无需在实验中进行操作。综上所述,VEECO V-200 SI是一种先进的晶圆测试和计量机器,能够精确测量掺杂剂浓度、层厚度和表面地形。它旨在为半导体制造过程提供可靠的数据,其安全特性、与样品处理系统的兼容性以及远程操作功能使其成为晶圆测试和计量的理想工具。
还没有评论