二手 VERTEX 430 #9182037 待售
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VERTEX 430是一款最先进的晶圆测试和计量设备,旨在为高级逻辑器件提供严密的过程控制和屈服优化。该系统的一整套测量功能,包括缺陷检查、CD计量、电气测量和迭加,有助于确保设备性能和可靠性,同时提供快速、准确和可靠的结果。430利用独特的光学工程设计,实现CD计量的最高精度和分辨率水平,并允许对各种微观结构进行快速和可重复的测试。通过6轴视觉定位,该单元可以精确检测和测量关键特征,如CD、图桉宽度、图桉高度等。利用专有的ULO或超低光机,VERTEX 430提供了前所未有的低计数扫描和对准组合,提供了前所未有的速度和准确性。除了CD计量之外,430还提供各种电气测量和缺陷检测功能,专门用于检查高级逻辑设备中的超小型功能。其集成的电导率和充电测量允许即时验证器件特性和晶体管负载的优化。先进的缺陷检测功能利用VERTEX 430独有的深紫外线照明工具检测结构缺陷,如污染或颗粒聚集,这些缺陷会降低产量并对设备性能产生不利影响。最后,430的迭加测量功能允许在不同材料层之间进行严格的精确定位和对齐。其高速和精确的舞台运动,以及其专有的Digital Mask-Aligner资产,使模型能够检测和测量垂直和横向方向的小特征。总之,VERTEX 430为高级逻辑设备测试和分析提供了一个多功能一体晶圆测试和计量解决方桉。其独特的光学工程设计,加上其全面的测量能力,有助于确保设备的可靠性和性能,同时提供严格的过程控制和生产运行的优化。
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