二手 VIEW ENGINEERING / GENERAL SCANNING Benchmark 450 #9180602 待售

VIEW ENGINEERING/GENERAL SCANNING Benchmark 450是一种晶圆测试和计量设备，开发用于半导体晶圆制造过程。该系统提供了一组独特的特性，使其适用于工艺表征、斜坡速率测定和缺陷表征。VIEW ENGINEERING Benchmark 450扫描电子显微镜（SEM）是一种结合最新的大功率电子光学和新的样品分期技术的自动化装置。这允许用户有效测量亚微米特征的属性，跟踪关键尺寸、掺杂分布、线边和蚀刻轮廓。该机器提供了广泛的分析能力，从简单的2D表面测量，到复杂的图像分析和电特性。该工具配备了集成的x-y驱动器和电动舞台。此设置使用户能够执行宏扫描以及亚微米测量。可变聚焦光束允许高分辨率成像,其特征尺寸可低至0.25微米。该资产还配备了高压电源，使其能够检测和分析低损坏特性。GENERAL SCANNING Benchmark 450型号还具有先进的自动化和成像软件。Sample Equipment Viewer （SSV）软件允许用户轻松编程自动化、自定义成像参数以及每个样本捕获多达100张图像。该软件还提供计量数据的实时分析和报告，使用户能够快速识别过程非统一性。该系统的光学器件是专门为连续波电子束操作而设计的，提供了出色的分辨率和重复性。此外，还安装了一个探测器阵列，使该单元能够测量单晶和多晶样品的特性。这些检测器使用户能够快速测量诸如掺杂分布、线边和蚀刻轮廓等特征的属性。Benchmark 450是一台经济高效的晶圆测试和计量机器,为用户提供了一套高效而全面的功能。该工具适用于半导体工艺表征、斜坡速率测定和缺陷表征，已在全球数百个生产环境中使用。此资产还提供出色的分辨率、可重复性和自动化软件。