二手 VIEW ENGINEERING / GENERAL SCANNING Voyager V18x18 #9231379 待售

VIEW ENGINEERING / GENERAL SCANNING Voyager V18x18
ID: 9231379
Non-contact metrology system.
VIEW ENGINEERING/GENERAL SCANNING Voyager V18x18是KLA-Tencor开发的晶圆测试和计量设备,KLA-Tencor是半导体行业计量和质量保证解决方桉的全球领先者。VIEW ENGINEERING Voyager V18x18提供了一套全面的计量、地形和故障排除工具。其先进的光学布局通过三个不同的测量领域相结合,可以实现卓越的成像能力。统一的现场设计可确保单个灯的最佳覆盖范围,而六角形现场设计则可提供更清晰的图像,而不是宽视野,这对于自动化过程尤其有利。GENERAL SCANNING Voyager V18x18以KLA-Tencor专有的真空仪系统为基础,提供深度可达5mm的高精度单镜头测量。该单元提供自动区域覆盖测量和缝合灵活路线。该机还具有自动柱头和自动MTF(调制传递功能)校正设置,有助于优化过程特性。该工具的开放式体系结构允许用户在各种工具和视图类型之间切换,从而提供了灵活性。高级3D计量模式通过最大可靠性读数和从样本到样本或工具到工具的调整能力,提高了准确性。高速定位和运动控制资产还提供先进的并行感应器,允许自动并行调节和真实测量。该模型可用于高级级别扫描和映射的预先确定的干预点。主动变焦和精细变焦模块可提供精确的分辨率和更高的稳定性,从而获得最大的精度。Voyager V18x18设备提供了广泛的报告功能,包括自动关联图、全面的覆盖分析图、隔离测量、3D散射图等。该系统具有广泛的扫描选择、手动校正和增强的自动化功能,为全自动流程提供了优化的解决方桉。总体而言,VIEW ENGINEERING/GENERAL SCANNING Voyager V18x18是一个高级晶圆测试和计量单元,旨在通过其卓越的光学设计、高精度测量、精密的计量模式和强大的报告套件提供最佳性能。该机具有先进的自动化特性,是半导体和其他制造工艺的理想选择。
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