二手 WYKO / VEECO 600 #9234535 待售

WYKO/VEECO 600是一种高性能晶圆测试和计量设备，设计用于产品评估的速度和准确性。该系统是分析任意几何半导体晶片的前端工具，具有多种可用的测量技术，如原子力显微镜（AFM）和扫描电子显微镜（SEM）。它能够在整个光刻、沉积、反应性离子蚀刻和其他半导体制造过程中快速、高精度的测量能力。该单位拥有专利的光学计量设计，用于通过其WYKO Instruments品牌获得的检验。这种光学机器包括一个倾斜光源和远心透镜工具，两者都提供了更高的测量精度。资产还配备了用于扫描的双XYZ扫描模型和可重复的XY或XYZ探测。WYKO 600还提供了晶片表面的特征级可见性，用于故障分析。它集成了硬件和软件来测量、分析和比较晶圆表面的高分辨率图像。该设备允许使用粒子分析软件从晶圆表面的多个位置自动收集数据。该系统配备了具有200或500 nm分辨率和专用测量功能的强大操作模式。这些操作模式具有运动校正、边缘问题复制和测量冥想以提高分辨率。它具有多目标扫描（MTS）功能,可监控特征一致性并确定过程稳定性和产品一致性。VEECO 600是一个功能强大的晶圆测试和计量单元.它专为速度、精度和方便而设计，可用于优化许多制造工艺。它是审查和分析半导体晶圆几何形状的理想工具。