二手 WYKO / VEECO NT 100628 #9105204 待售

WYKO/VEECO NT 100628是一种高精度晶圆测试和计量设备。它设计用于测量与晶圆制造相关的多种参数，包括掺杂水平、模具尺寸、步高、应力剖面和其他半导体特性。WYKO利用专利的非接触式光学轮廓测量技术，以极高的精确度确定各种表面地形；这与场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）相结合，提供了一套专门针对晶圆制造的测试和计量能力。系统组件包括用于WYKO NT 100628的DBA（数据采集单元）环境外壳、光学移相器、场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）、振动声学扫描以及各种样品和阶段操纵系统。对于晶片的移动和操纵，包括一个z轴定位器。该装置能够在z方向上移动50毫米，在测试和计量操作期间提供准确和稳定的样品对准。VEECO NT 100628的FE-SEM提供了无与伦比的图像分辨率和细节，并有自动化图像优化、光谱图扫描（以增强图像对比度）和多种发射电流水平等众多功能作为后盾。该单元能够提供精确的晶圆特性测量，无论基板参数或特征大小。NT 100628的光学机器包含许多扫描选项,以允许绝对高度或深度轮廓、具有横截面深度控制的横截面成像以及自动设计轮廓。VEECO振动声学扫描仪（VAS）使用独特开发的算法来测量形态特征和尺寸。WYKO/VEECO NT 100628还具有自动层厚度剖面仪（ALTP），用于测量晶圆上存在层的厚度。总体而言，WYKO NT 100628是一种高端晶片测试和计量工具，提供了一系列全面的功能，便于对半导体晶片进行准确可靠的检查、分析和表征。该单元结合了光学、FE-SEM和振动声学扫描技术,并配有一系列自动化功能,以简化和加快数据采集和分析。VEECO NT 100628是一种强大可靠的资产,旨在满足要求最苛刻的半导体生产和研究环境的需求。