二手 WYKO / VEECO NT 1100 #293618484 待售

ID: 293618484
Optical profiling system.
WYKO/VEECO NT 1100是一种晶圆测试和计量设备,设计用于半导体晶圆制造和材料研究。该系统提供了一系列分析能力,用于检查晶圆的表面轮廓,以及它们的电气、光学和机械性能。WYKO NT 1100具有高精度自动扫描探针显微镜(SPM),利用低力悬臂组件精确测量表面平面度和轮廓。此外,还有一个数字成像单元,可用于捕获晶圆表面的详细图像。一台单独的计量机器使用光学干涉技术来精确测量晶圆厚度、平坦度和表面粗糙度。VEECO NT1100还提供一系列电气测试功能。它包括用于执行高精度片状电阻测量的四点探针工具、用于电容与电压表征的电容表以及用于提取电流-电压和电容-电压数据的电流和电压源。此外,该资产还提供了广泛的光学测量,包括紫外线和可见光源、全光谱光源以及晶圆跟踪的自动对准模型。该设备采用模块化体系结构设计,便于与生产线上的工艺工具集成。它配备了许多高级功能,包括高度精确的运动控制、集成的诊断和广泛的数据通信功能。VEECO NT 1100还具有用于晶圆操作的坚固电动机,可实现快速、精确的晶圆加载和处理。除了在实验室中的性能外,NT 1100还适用于材料研究和设备开发的自动化。它开放的体系结构使它可以轻松定制,使应用开发人员能够快速设计和执行实验。WYKO NT1100可以远程控制和/或通过图形用户界面控制,从而便于在远程站点中使用。总体而言,WYKO/VEECO NT1100是广泛的晶圆测试和计量应用的理想选择。它的模块化设计使它能够轻松适应每个应用程序的独特要求,而许多高级功能确保了最高级别的性能。
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