二手 WYKO / VEECO NT 3300 #293645434 待售

ID: 293645434
Optical profiler.
WYKO/VEECO NT 3300是一种晶圆测试和计量设备,可以以生产速度加工和分析晶圆,从而实现高效准确的晶圆测试。它可用于平面和3D晶圆尺寸测量,包括表面和侧壁轮廓测量、地形测量和薄膜厚度测量。该系统设计用于工艺控制应用,如蚀刻速率、平面度和迭加。它使用非接触式光学干涉测量法精确测量二维和三维表面轮廓。特征范围从几纳米到几微米。WYKO NT 3300构建在一个强大可靠的软件平台上,提供具有各种硬件和软件选项的集成解决方桉。VEECO NT 3300包括一个快速光学单元,它使轮廓扫描速度达到250 μ m/秒,明显快于常规方法。该机还具有全自动校准工具和完整的计量报告功能。它提供了广泛的计量工具,如快速扫描算法、低噪声电子、高精度级、透射和反射光学,以及增强的模式识别。此资产一次可以测量每个晶圆的多个样本,并具有板载数据存储,一次最多可以存储10个晶圆。NT 3300提供软件控制的晶圆处理,包括晶圆移动和对齐,以及自动化的样板级控制和映射。它还具有自动模型诊断、简化的工作流管理和可定制的报告生成功能。此外,该设备还集成了环境控制,可在多个样品中实现均匀的温度性能。综上所述,WYKO/VEECO NT 3300是一个可靠、快速的晶圆测试和计量系统。它有一个非接触式光学干涉仪,可以测量从几纳米到几微米的特征,以及一个扫描速度高达250 μ米/秒的快速光学单元。它还提供增强的工作流、方便的数据存储和高级示例处理功能。它是一种非常先进的晶圆测试和计量机器,非常适合过程控制应用。
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