二手 WYKO / VEECO NT 3300 #9232802 待售
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ID: 9232802
Optical profiler
3D Surface profilometry
Motorized turret with (3) Objectives: 5x, 20x, 50x
Operating system: Windows NT.
WYKO/VEECO NT 3300是一种晶圆测试和计量设备,设计用于快速测量各种设备特性。此系统允许工程师测量关键尺寸、迭加、平整度、浸出、引线间距、侧壁角度等特征。WYKO NT 3300使用了一种名为UltraGantry的新型晶片安装装置,它既提供增强的运动学性能,又具有自动化的参数化晶片处理能力。这台机器支持各种各样的晶圆尺寸,从6英寸到200毫米,是半导体开发者的理想选择。VEECO NT 3300还有一个高速扫描仪,提供快速目视检查,使得快速检查大表面成为可能。这种工具包括一种新的扫描运动控制技术,称为轻轻扫描(Gently Scan),确保扫描头不会与晶圆背面接触。这有助于提供快速可靠的测量,以识别产量限制缺陷,如污染、划痕和颗粒。NT 3300提供了广泛的软件选项,使工程师能够轻松地将资产集成到数据和测量系统中。其中包括测量电路特征的电气特性的电气图像测试分析(EITA)和有助于开发工艺模型以优化产品制造的统计过程控制(SPC)等软件工具。WYKO/VEECO NT 3300还具有多功能的光学计量平台,支持各种各样的目标和优化策略。该模型可用于测量迭加对准、接触和沟槽面积、接触电阻、介电隔离和侧壁角等特征。它还能够自动优化测试参数,以获得测试和生产样品的最佳结果。此外,WYKO NT 3300还包含一系列工艺验证模块,有助于确保设备的制造达到最高质量标准。这包括静电放电(ESD)测试等选项,该测试验证在制造过程中不会产生电荷。VEECO NT 3300具有功能广泛的功能集和强大的测量能力,是寻求高精度和可靠晶圆测试和计量能力的人的理想设备。
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