二手 WYKO / VEECO NT 8000 #293824503 待售

WYKO/VEECO NT 8000是一种晶圆测试和计量系统，提供半导体晶圆的非接触式、无损分析。它旨在实现数据采集和分析过程的自动化，以最大限度地提高晶圆测量的精度。WYKO NT 8000使用安装在三轴空气轴承定位系统上的WYKO光头来获取晶圆的地形和光学数据。VEECO光头利用激光扫描干涉仪，利用光学干涉测量表面地形。这种干涉仪用高度聚焦的激光束扫描整个晶圆表面，创建一系列横截面图像。然后分析图像以确定晶片上每个特征的地形。此信息用于计算曲面粗糙度、步长、临界尺寸和其他临界工艺参数。NT 8000利用先进的光学和三维数据采集及其"三重光束"技术同时测量晶片的正面和背面。它还结合了环境扫描电子显微镜（ESEM）的能力，可以分析晶圆上非常小的特征。VEECO NT8000提供了广泛的数据分析工具来处理所获取的数据。Advanced Image Analysis Suite （AIA）是一种图像处理工具,用于从图像中提取测量结果,并用于获取数据的光谱分析。此外，Spectral Resolution （SR）软件使用户能够量化所获取数据的光谱含量。WYKO NT8000提供先进的计量技术，如散射光、角散射法和3D光刻地形测量能力。它还包含一个专门的功能测量模块,它提供高级功能拟合功能,可用于测量晶圆上的复杂3D形状或地形。WYKO/VEECO NT8000设计用于各种工业环境，如标准化（空气或洁净室）和非标准，包括超高真空（UHV）。是半导体行业质量控制和工艺优化操作的理想工具。