二手 WYKO / VEECO NT 8000 #9309123 待售
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ID: 9309123
优质的: 2004
Optical 3D surface profiler
With COHU 6612 Digital camera
Stitching and advanced analysis
Motorized nosepiece with objectives: 5x and 50x
Gail stage controller: 5-Axis
TMC Isolation table
DELL OptiPlex
Operating system: Windows XP
2004 vintage.
WYKO/VEECO NT 8000是先进的晶圆测试和计量设备。它提供了全面的晶圆表征、计量和过程监控功能。WYKO NT 8000设计为在各种晶圆厂环境中有效工作,是一个高度先进的系统,它利用最先进的光学、测量技术和工艺分析软件来优化晶圆厂的吞吐量和产量。VEECO NT8000具有轴上、非接触式光学成像单元,可提供极小漂移的超高分辨率测量。该机可以容纳广泛的晶圆尺寸和方向,并且可以很容易地与最现代的织物整合。NT 8000以较大的视野和较低的放大倍率,高速捕捉全晶片的影像,也可以捕捉单模具影像。先进的照明为明场和暗场成像提供高分辨率成像。VEECO NT 8000还包括增强的计量能力。此功能可对半导体参数进行高度精确的测量,例如线宽、侧壁角、临界尺寸(CD)、CD零扫描和方差。该工具还能够执行交替计量技术,如散射法和光度法。WYKO NT8000提供了最高的精度,适用于广泛的应用。NT8000还具有先进的缺陷检测资产,可以检测小至75 nm的缺陷。它结合了四种先进技术-明场、暗场、紫外荧光和散射测量-以实现快速有效的缺陷检测。此外,该模型还采用高分辨率成像来实现复杂的模式识别.WYKO/VEECO NT8000还配备了增强的流程分析软件。此软件支持即时、准确的流程性能分析,有助于最大限度地减少识别和解决流程问题所需的时间。该软件结合了复杂的晶片与晶片比较工具,以及用于用户友好访问数据的拖放图形用户界面。WYKO/VEECO NT 8000是一种先进的晶圆测试和计量设备,旨在最大限度地提高晶圆吞吐量和产量。其先进的光学成像能力、计量功能和工艺分析软件使各种半导体参数的快速准确测量成为可能。增强的缺陷检测系统可实现有效的缺陷检测和工艺性能分析。所有这些特性和功能使WYKO NT 8000成为一个功能强大的晶圆测试和计量单元。
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