二手 WYKO / VEECO NT 8100 #9211301 待售
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已售出
ID: 9211301
Optical profiling system
Monitor: 27"
Basler
Vision: 3.6
Galil
8 x 8 Stage
Operating system: Windows 7.
WYKO/VEECO NT 8100是一种晶圆测试和计量设备,专门设计用于半导体行业的质量控制和故障分析。该系统结合了自动WYKO系列NanoScratch和水平偏转分析(HDA)以及基于光学的VEECO Navi-Scan进行360度覆盖。它可以测量、分析和跟踪晶片表面特性、缺陷和粒子计量。WYKO NT 8100建在桌面设计上,方便取用,其硬体元件整合,可在整个晶圆表面提供一致的测量和分析。WYKO/VEECO系列NanoScratch是一种非接触晶片变形检测装置,可精确测量纳米级的长程和短程应力变化。它可以跟踪表面粘附、硬度、刚度、均匀度和残余应力等特性。HDA机允许对各种结构和特征进行高分辨率成像,并对表面损伤和其他缺陷进行详细分析。WYKO Navi-Scan使用基于物理的成像技术,在三个维度上精确捕获特征和粒子,从而提供粒子密度、大小和形状的精确计量。VEECO NT 8100由VEECO Smart Tool Control Interface (SCI)控制,提供自动化的数据收集、与其他系统的集成以及精密的分析工具,以实现高效的性能。SCI允许用户自定义设置,设置脚本化的多步骤实验,生成详细的自定义报告。此外,SCI与常见的晶圆检测软件解决方桉(如Fab Operator和Fab Inspector)兼容。总体而言,NT 8100资产为晶圆测试和计量提供了全面的解决方桉,有助于确保优质半导体产品的生产一致。凭借其紧凑的设计、自动化的数据收集以及广泛的分析和计量功能,此模型非常适合高效、准确的生产过程监控、质量保证和故障分析。
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