二手 WYKO / VEECO NT 9100 M #9208129 待售

WYKO/VEECO NT 9100 M是一种精密晶片测试和计量设备，旨在为晶片和薄膜结构的非接触面分析提供最大精度和准确性。该系统结合了包括自动光学显微镜（AOM）、扫描电子显微镜（SEM）和电容成像（CI）在内的多个系统，提供晶圆表面和薄膜结构的精确分析。WYKO NT 9100 M由三个主要部件组成；舞台、照明装置和探测器。舞台能够支撑尺寸不超过1000 x 1000 mm的物体。它可以以线性或旋转的方式移动，以每秒0.02微米的速度驱动。这对于达到晶圆测试和计量所需的高精度和精确度是必要的。照明机由可见光源或红外光源组成，为表面分析提供最佳对比度。最后，探测器能够从照明晶片表面收集图像数据，分辨率为0.7 µm，动态范围为2个数量级，SNR大于80 dB。VEECO NT 9100 M可以分析平面和非平面晶圆表面。该工具能够测量相对厚度、薄膜附着力、表面缺陷和拓扑结构。它还能识别晶片表面TiN沉积的发生，测量晶粒大小和深度。此外，资产可以测量表面反射率。所有这些数据都是使用共焦控制模型记录的,该模型可用于分析捕获的数据,从而为过程控制或建模提供重要的指标。NT 9100 M提供了许多用于精确晶圆测试和计量的功能。它可以通过专用的控制工作站远程操作，不需要在物理上用于分析晶片和薄膜结构。共聚焦控制设备是安全且完全可定制的,允许进行多种配置以满足各种应用程序的特定要求。最后,系统提供了一系列软件工具和分析包,可用于生成报告和分析捕获的数据。综上所述，WYKO/VEECO NT 9100 M是一种精密晶片测试和计量装置，设计用于晶片和薄膜结构的非接触面分析。它利用AOM、SEM和CI的组合来提供晶圆表面的精确分析。该机器提供自动舞台移动和定制、远程操作以及一系列软件工具和分析包等功能。所有这些特性使得WYKO NT 9100 M成为需要晶圆测试和计量精度和精确度的应用的理想选择。