二手 WYKO / VEECO NT 9100 #293743490 待售

WYKO/VEECO NT 9100是半导体工业中用于检查晶圆级器件的自动化晶圆测试和计量设备。该系统由几个不同的组件组成，包括一个多站晶片检查单元，该单元对设备上的特征进行自动晶片检查和分类；一种干涉测量机，用于测量装置的平坦度、直线度和步高；一种剖面仪，用于在一维和三维测量中测量平面高度；椭圆偏振仪，用于测量椭圆偏角和浓度等光学性质；以及执行多个地形测量的MiniSystem。多站晶片检测工具由视频晶片检测资产和高分辨率测量模型组成。Video Wafer Inspection Equipment使用先进的光学元件结合自动化视觉系统来检测和分类缺陷。高分辨率测量单元利用高分辨率光学显微镜进行图像处理和分类。干涉仪利用干涉仪与电视摄像机相结合，测量晶圆的平坦度、直线度和步进高度。此工具用于映射任何不规则性,以便为制造商提供晶圆表面的轮廓。Profilometer是一种自动化晶圆测量资产,用于对表面地形进行一维和三维测量。该模型包括四个组成部分：精密级、精密光学、摄像机和专有的计算机控制数据采集设备。椭圆偏振系统测量光学特性，如椭圆偏振角和器件的浓度。该单元由高精度光学机器、专有计算工具和分光光度计组成。MiniSystem是用于执行多个地形测量的便携式设备。资产包括精密光学模型、精密级和摄像机。WYKO NT 9100易于使用，需要最少的操作员培训。它能够检查大小从1.5 μ m到100 μ m的特征,并以120倍的最大放大倍数提供高质量的图像。该设备是寻求进行高质量晶圆测试和计量的半导体器件制造商的强大工具。