二手 WYKO / VEECO NT 9300 #293602188 待售

WYKO/VEECO NT 9300是一种先进的晶圆测试和计量设备，设计用于可靠性测试、关键过程监控、故障分析和过程调试。这个系统的集成光学显微镜相机加上软件控制的电机为用户提供了一个全面的表面活动阵列和数据分析工具。WYKO NT 9300单元的硬件包括用于成像的高性能光学器件、用于超精度晶圆检查的激光干涉仪、用于执行各种测量的旋转级、用于捕获图像的数码摄像机以及用于电动扫描和成像的高精度转换器。这与高度自动化的软件控制器相结合,使用户能够准确快速地测量一系列参数,如表面地形、粒径、污染物、表面粗糙度以及特征大小和密度。VEECO NT9300最大限度地保证了质量和过程控制,提高了吞吐量和可重复性,并降低了测量和采样成本。这台机器的精密软件包括多种功能,如自动数据采集和特征大小、密度、均匀性和间距、表面粗糙度和单个薄膜厚度的计算。此外，内置模式比较模块允许快速的过程验证和评估。NT 9300工具设计用于容纳2 ″到8 ″的晶圆尺寸,最大磁场尺寸为32mm x 32mm。该资产由于其先进的光学和处理元件，在速度、精度和吞吐量方面都超过了行业标准。该模型与SEMI-STD-1538-F和ASTM B265-14兼容,便于测量突出的参数,包括平板显示器和MEMS IC生产。为确保最高精度和可靠性,VEECO NT 9300采用了最新的精密计量技术。它配备了创新的6轴压电失速塔式电机，提供最精确稳定的残余振动性能。此外，采用低热灵敏度的高精度直线空气轴承导轨进一步提高了精度和可重复性。总之,NT9300是一种先进的晶圆测试和计量设备,可提供精确的结果、增加的吞吐量以及降低的测量和采样成本。利用最新的计量学技术,该系统可容纳2 ″至8 ″的晶圆尺寸,最大磁场尺寸为32mm x 32mm,为用户提供集成的光学显微镜相机、激光干涉仪、旋转级、数码摄像机以及用于电动扫描和成像的高精度转换器。此外，内置模式比较模块允许快速的过程验证和评估。