二手 WYKO / VEECO NT 9800 #9289675 待售

WYKO/VEECO NT 9800晶圆测试和计量设备是一种高度通用和可靠的仪器,能够为广泛的计量应用提供解决方桉。该系统适用于大面积半导体晶片的测试，对材料的物理和电气特性进行了详细的分析和表征。该单元由一个主加工站、一个带有电动Z轴的晶片级、一个带有光学投影机的扫描头以及先进的计量软件组成。晶片级旋转最大直径200毫米的基板，以提供晶片整体的均匀光学视图。晶片的旋转通过外部计算机控制，编码器内置在舞台上，提供晶片表面的精确、非接触的数据点。WYKO NT 9800的主要功能之一是其光学投影工具,它可同时查看整个晶圆的多个站点。使用固定位置扫描头,该设备最多可在12个站点测量28个点,以便在并行视图中捕获多个图像。这样就可以对晶圆地形进行高精度的快速分析。VEECO NT 9800随附的高级计量软件能够生成一系列分析数据,如地形、临界尺寸和残余应力剖面。该软件还附带了专有的拟合算法，旨在简化对复杂数据集的解释。此外,集成软件开发环境允许从头开始构建自定义的集成成像分析软件。最后,NT 9800具有极高的可靠性和可重复性,具有较高的数据采集速度和内置的环境控制。其集成的氮气净化室提供精确的温度控制和隔振，这对于测量精细晶片具有可重现的效果是必不可少的。集成的用户管理资产提供了所有测试数据的完全可追踪性。总体而言,WYKO/VEECO NT 9800晶圆测试和计量模型是一种功能强大的仪器,可提供广泛的计量应用。其先进的光学投影设备和计量软件使其成为大面积半导体晶片快速、可重复、精确分析的理想之选。此外，其综合用户管理系统保证了可靠和可追溯的数据。