二手 WYKO / VEECO RST #160187 待售
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ID: 160187
Optical Profiler Interferometer Microscope
TMC 63-222-6501 High-Performance Lab Table
Components Included:
(1) Wyko RST Interferometer Microscope
(1) Wyko Optical Profiler Base w/ 6” x 10⅜” Stage
(1) 0.62X Field Lens
(1) 1.0X Field Lens
(1) 1.5X Field Lens
(1) Alignment Field Lens
(1) RX2.5 Objective Lenses
(1) RX10 Objective Lenses
(1) RX40 Objective Lenses
(1) External Light Source Unit
(1) 37-Pin Wyko Control Box Ribbon Cable
(1) 4’ Fiber Optic Light Source Tube
Included in Light Source Unit:
(1) 90nm-N.D.
(1) 672.2 79nm-B.P.
(1) 462.9nm 73.6nm-B.P
(1) 501.7nm 10.3nm-B.P
Light source: External Wyko Unit
Stage: ±6° tip/tilt, ±90° rotation, ±2 in x,y
Missing one 90° Elbow fitting for vibration dampening system.
WYKO/VEECO RST设备是一种晶圆测试和计量系统，设计用于检查和表征半导体晶圆。它能够以高精度和吞吐量提供晶圆膜、接口和其他层的非接触计量。该单元采用先进的、高精度的光学散射计来测量试样晶片不接触的特性。光学散射仪利用反射光强度和角度分布测量的组合来表征纳米级的薄膜和表面。此外，它还具有以纳米分辨率测量特征的能力。WYKO RST机的设计是为了满足对非常快的测量周期的需求。这使得该工具非常高效,能够快速提供可靠的结果。这也意味着可以在避免延迟的同时对每个晶片进行更多的测量。除了高速，VEECO RST资产还提供高测量精度和可重复性，以提供可靠的性能。该模型包括提供快速数据分析、自动通过/失败决策和报告的高级软件工具。所有数据都是从光学散射计收集，然后进行处理和储存，以便于访问和理解。RST设备还提供了广泛的样品处理选项,以加快测试速度。机器人化阶段以受控的方式移动样品，快速而精确地将其置于正确的测量位置。自动化的装卸也减少了手工工作，加快了整个过程。WYKO/VEECO RST系统提供灵活的性能,可以根据每个用户的要求进行定制。全面的软硬件定制使单位能够提供可靠的测试和计量。由于周期时间快，数据分析性能高，该机非常适合三维计量、图像分析、晶圆检测、表面表征和缺陷检测等应用。
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