二手 WYKO / VEECO RST+ #67577 待售

WYKO/VEECO RST+是一种用于半导体晶片表征的晶圆测试和计量设备。该系统是为测量晶片材料的光学和电性能而设计的，为进一步的分析和仪器制造提供了宝贵的数据。该单元由一个基于外显子激光扫描技术的计量单元和一个利用多探针技术的测试单元组成。计量单位能够测量各种参数，包括晶体取向、纹理、表面和边缘质量、厚度均匀性、表面反射率和地形高度。这可以在扫描速率高达30毫米/秒的情况下完成,同时仍能以± 2.5 nm（两西格玛）的高精度获得可重复的结果。它还能够以3D成像，并以立体视图呈现结果。该机器能够检查各种不同的材料类型，从硅到砷化氙。试验装置采用多探针技术进行电和光电试验。这包括各种参数的电气特性，包括栅极漏电电流、栅极电容、栅极漏电电容和漏电电流。这可以以± 0.5fA的精度执行。此外，还可以测量光电特性，如光学寿命和光子载波迁移率。在扫描速度高达30探针/秒的情况下,该工具能够分析单个晶片的电气和光学特性。WYKO RST+资产为晶圆材料的光学和电气特性提供了准确和可重复的测量结果。计量和测试单元完全自动化，能够快速测量，为进一步分析和制造提供了宝贵的数据。该模型能够分析各种不同的材料类型，在光学和电气参数上都具有很高的精度。