二手 AKRION 9200 / 9200A #9105637 待售

AKRION 9200/ 9200A湿站是一种精密、高性能的湿处理设备，设计用于为生产就绪的半导体器件提供高性能的湿蚀刻和清洁解决方桉。该系统采用最先进的技术和强大的过程控制软件，实现了高精度的严格过程控制。该单元由几个组件组成，包括一个湿加工室、一个基板支架和一个溶液处理单元。湿式加工室配有先进的数控热流控制元件，保证蚀刻均匀性和清洁效果。此外,控制器还能够存储多达30种标准化配方,用户可以使用这些配方对多个参数进行编程,包括解决方桉温度、周期时间、蚀刻时间、冲洗时间等。基材持有者负责在加工过程中将基材固定到位。它包含一个可移动的框架，因此用户可以很容易地将多个基板插入到机器中。此外,控制器还包含多种运动控制功能,包括旋转、向前/向后移动以及脉冲持续时间。9200/ 9200A湿站还配备了先进的自动化溶液处理装置,用于精确的溶液输送和干燥。该单元使用一组泵将蚀刻和冲洗溶液输送至基板支架，并使用一组超声波喷嘴精确控制溶液流量。该单元的精密软件可确保在将解决方桉释放到室内时对其进行准确的实时监控和分析。该工具还具有内置信号分析的基于激光的厚度测量资产,因此用户可以在处理前精确测量薄膜厚度。此功能使用户能够优化蚀刻过程,以实现精确的目标厚度。最后，AKRION 9200/ 9200A湿站还设有综合安全措施，以帮助确保安全运行。这些措施包括一个opto-safety功能,它可以防止手部在打开时进入腔室,以及温度和压力传感器,如果用户的这些值中有任何一个超出其设定参数,则向其发出警报。综上所述,9200/ 9200A湿站是一种高性能、精密的湿处理模型,旨在为用户提供用于生产就绪的半导体器件的一致蚀刻和清洁解决方桉。该设备具有强大的热流控制、先进的运动控制、自动化的解决方桉处理单元、基于激光的厚度测量以及集成的安全功能,以实现高效、安全的操作。