二手 AKRION AWP #9141974 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 9141974
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
Wet process system, 8"
Type : CP / H2O2
Install type : Stand-Alone
Process flow: L -> R
Cassette interface :
(2) Tec SEM integrated SMIF
(50) Wafer batch loading
Robot handler : Hauser
Module configuration :
Mod 1 (Process) : BSG
ƒChem : H2SO4/HF 16:1
ƒTemp : 60°C
ƒMaterial type : Quartz tank
Mod 2 (Rinse) : QDR (Cold)
ƒTemp : Ambient
ƒMaterial type : PVDF
Mod 3 (Clean) : Gripper clean (GC)
ƒMaterial type : PVDF
Mod 4 (Process) : PHOS
ƒChem : H3PO4
ƒTemp : 155°C
ƒER-OX : 40+/-8, PT-OX: 100
ƒER-SIN : 48+/-6, PT-SIN: 60
ƒU%-OX: 20, U%-SIN: 5
Material type : Quartz tank
Mod 4 (Rinse) : QDR (Hot)
ƒTemp : 50°C
ƒMaterial type : PVDF
Mod 5 (Rinse) : Final rinse (FR)
ƒMegasonic option
ƒMaterial type : Quartz tank
Mod 6 (Dryer) : DMG
ƒMarangoni IPA dry
ƒMaterial type : PVDF
Mod 6 (Aux) : Auxiliary place
Mod 7 (Buffer) : PP
Mod 8 (Transfer) : Transfer station
Mod 8 (In/Out station) : In/Out
ƒUI, CPU, Monitors
ƒFire extinguisher system (Control panel)
Chemicals:
H2SO4 (PFA material)
HF (PFA material)
H3PO4 (PFA material)
HCL (PFA material)
IPA (SS material)
Drains :
Main : PVC, 50A
Acid : PVC, 50A
Alkali : PVC, 50A
Industrial : PVC, 50A
Reclaim : PVC, 50A
Exhaust :
Acid : PVC, 100A (Flange)
Alkali : PVC, 100A (Flange)
Solvent : PVC, 100A (Flange)
Safety interlocks :
Leakage sensor
Temp
Over temp
Exhaust
Sniffer
Ultrasonic dry protect
Heat exchanger
Door sensors
Light barrier
Power requirements : 120/208VAC(12kVA), 60A, 3-Phase, 5-wire, Freq 60Hz
UPS back-up power : 120/208VAC (8kVA), 23A, 3-Phase, 5-wire, Freq 60Hz
1997 vintage.
AKRION AWP是一个湿式工作站，设计用于在印刷前提供出色的清洁、调理和基材的制备。AWP使用雾化喷雾冲击水设备，将水基清洁液输送到基板上，包括卷状基板和网状基板。它旨在提供环保合规性和出色的打印质量和多功能性。AKRION AWP系统利用多级循环进行基板润湿和清洁，具有可变压力喷嘴和优化的流动特性，以实现一致和均匀的喷雾模式。这样可以确保底物的所有区域都能很好地覆盖清洁液，并最大限度地减少过度喷洒。喷嘴可调节以覆盖广泛的基板宽度和长度,并且可以同时处理基于网状和卷状的基板,包括具有浮雕、纹理和图桉特征的基板。AWP使用多种机械和化学工艺来确保底物清洁和调理的最佳效果。首先，使用脱离水和洗涤剂的加压喷雾对基材进行预清洗。接着是动态脱离水冲洗。最后，基材用紫外线和化学溷合物调制。此过程可确保后续打印过程的表面清洁且底漆良好。AKRION AWP包含许多环境特性,例如综合废水管理单元和Low- E®保温材料。这确保了AWP能效高，对环境安全，并为低耗水和低化学品设计。此外,它还符合UL、CE和ROHS认证。AKRION AWP提供了许多高级功能,以确保最佳地执行整个预打印过程。其中包括一台集成的传感器机器,可确保准确的过程控制,一个连续的自我审核工具,以及一个自动停止模式,在未检测到喷洒时暂停资产。总的来说,AWP是一个湿式工作站,它提供了一系列令人印象深刻的特性和功能,使其成为清洁、调理和准备打印基材的绝佳方法。它旨在提供卓越的性能和环境合规性,是任何预印应用程序的可靠且高效的选择。
还没有评论