二手 AKRION AWP #9141996 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 9141996
晶圆大小: 8"
优质的: 2001
Wet process system, 8"
Install type : Stand alone
Process flow : R -> L
Cassette interface :
(2) Tec SEM integrated SMIF
(50) Wafer batch loading
Robot handler : Parker
Module configuration :
Mod 1 (Process) : DSP
ƒChem : H2SO4/HF 13:1
ƒTemp : 60°C
ƒMaterial type : PVDF
Mod 2 (Rinse) : QDR (Cold) / CO2
ƒTemp : Ambient
ƒMaterial type : PVDF
Mod 2 (Clean) : Gripper clean (GC)
ƒMaterial type : PVDF
Mod 3 (Auxiliary) : AUX
Mod 4 (Dryer) : DMG
ƒMarangoni IPA dry
ƒMaterial type : PVDF
Mod 5 (Buffer) : PP
Mod 6 (Transfer) : Transfer station
Mod 6 (In/Out station) : In/Out
ƒUI, CPU, Monitors
ƒFire extinguisher system (Control panel)
Chemicals :
H2SO4 (PFA material)
HF (PFA material)
IPA (SS material)
Drains :
Main : PVC, 50A
Acid : PVC, 50A
Alkali : PVC, 50A
Industrial : PVC, 50A
Reclaim : PVC, 50A
Exhaust :
Acid : PVC, 100A (Flange)
Alkali : PVC, 100A (Flange)
Solvent : PVC, 100A (Flange)
Safety interlocks :
Leakage sensor
Temp
Over temp
Exhaust
Sniffer
Ultrasonic dry protect
Heat exchanger
Door sensors
Light barrier
Power requirements : 120/208VAC (8kVA), 22A, 3-Phase, 5-wire, Freq 60Hz
UPS back-up power : 120/208VAC (7.5kVA), 21A, 3-Phase, 5-wire, Freq 60Hz
2001 vintage.
AKRION AWP（Advanced Wet Processing）是一个为自动晶圆生产而设计的湿式站。它能够执行各种湿法化学加工任务，如晶圆清洗、表面处理、蚀刻、粘合和光刻。AWP站包含自动湿处理所需的所有组件，包括定制设计的晶片架、机械臂、称重设备和流体管理系统。晶片固定器设计用于在加工过程中将晶片牢固地固定在适当的位置,确保它们不会滑动或受到污染。机械臂使用精确编程的运动将晶片精确放置在所需的工作站处理区域。它也可以被编程成精确计量标准体积的液体进入晶圆。称重单元是一个精确的、反应性的数字标尺，利用复杂的算法感知湿晶片堆栈重量的微小变化，加快了站台的装卸速度。流体管理机集成到站内，为晶片提供稳定可靠的液体流动。它还由两个微流体溷合模块组成，允许对材料进行精确的化学剂量。AKRION AWP站还设有多项安全控制措施，以确保操作员的安全，如防腐性地板、内置警报工具、工作区域周围的安全围栏和通风罩，以减少接触危险液体和蒸气的风险。此外，AWP还设计了一个防水外壳，以防止水或其他污染物进入工作空间。总之，AKRION AWP是一个先进的湿加工站，能够实现高度自动化和高效的晶圆生产。它坚固、安全的设计、精确的机械臂和称重资产,以及出色的流体管理模型,使其成为一个非常可靠的设备,可以承担各种湿法化学加工任务。
还没有评论