二手 AKRION GAMA #9047520 待售

AKRION GAMA湿式站是用于制造半导体和微电子产品的全自动、精密的湿式加工设备。可用于进行各种湿法加工操作，如蚀刻、电镀、蚀刻/条带清洗、化学机械抛光（CMP）和降解。GAMA由几个子系统组成，包括一个工艺室、气室、泵和分配系统。工艺室是湿式站的主要单元，用于在湿式过程操作过程中像温度、压力一样控制工艺参数。气室是一个具有低压区域的腔室，以确保蚀刻/钝化过程的稳定和一致的气氛。气室使用循环泵在腔室过程中移动和过滤气体和液体溷合物。泵机将液体化学物质吸入并循环用于该过程。分配工具使用可靠的管道网络将液体化学物质从泵资产分配到工艺室。AKRION GAMA湿处理模型包含若干功能,可实现精确的湿处理操作。它包含一个湿过程控制设备，具有多个预编程的处理功能，包括温度和压力控制、化学监测和蚀刻过程。配方库允许轻松设置流程配方,以便以相同的结果重复相同的流程。系统还包含远程诊断功能,以方便对流程问题进行故障排除。采用GAMA湿处理装置，有效的加工参数也很容易调整。温度、压力、pH和气体分布都是可调的，这有助于确保湿工艺操作的一致和准确结果。该机还包括了离子镀层构型等特殊特性，可用于薄薄金属薄膜的沉积。对于蚀刻工艺，AKRION GAMA湿加工工具使用无电蚀刻资产，以确保均匀准确的蚀刻工艺。对于镀层，模型提供了广泛的镀层选项，包括真空溅射、直流电和脉冲电流镀层。该设备还具有反应性离子蚀刻和离子铣削等降解能力。总体而言，GAMA湿处理系统是一个可靠、精确的湿处理单元，旨在为用户提供最高的平版印刷效果。它可以用于任何种类的湿工艺操作，能够处理当今先进的半导体和微电子产品的需求。