二手 AKRION GAMA #9182626 待售

AKRION GAMA是为半导体和微电子工业的各种应用而设计的湿式站。它是一个完全自动化、经济高效且用户友好的解决方桉。湿式站设计为最大生产率、柔韧性和空间效率。其模块化设计允许与其他光刻工具轻松集成，而其灵活的运输和装载设备则提供了方便的材料访问。集成的离子束传递系统支持当今可用的最高分辨率成像。该站电化学加工工具配有多区工艺室，其独特的环境控制单元确保了最精确一致的电化学沉积结果。上加工室装有工件支架，下室装有一系列喷嘴，将反应性物质注入反应堆室并提供控制电路。湿式站的计算机控制自动化机器提供精确和可重复的过程结果。每个任务的可编程配方都存储在工具的内存中,以便于回忆。实时监控功能提供了对整个过程的准确概述。GAMA湿站优化抽水工具可保证低能耗.它具有强大的真空涡轮机，以尽量减少溶剂排放和尽量减少废物沉积。精密的废水过滤资产允许安全处置高危险材料，而不锈钢结构则使其完全符合半导体行业严格的安全要求。由于其先进的工程，AKRION GAMA的湿站为制造商提供了先进的工艺能力，以创建复杂的微电子和纳米电子设备。它已在业界证明是提供可靠性能和无与伦比的质量的有效工具。