二手 AKRION GAMA #9210939 待售

AKRION GAMA是由AKRION Systems开发设计的湿式车站。它是一个独立的自动化站，用于在一系列基板上进行高精度蚀刻、清洁、电镀和沉积。这个湿式站非常适合微电子设备的处理，包括MEMS和NEMS的应用。它为各种材料和基材提供了出色的蚀刻均匀性和工艺重复性。GAMA湿站采用了尖端、耐用的技术，以实现卓越的工艺控制和性能。该站设有先进的抽水和配电系统，可轻松配置，以满足客户的需求。该站还包括闭环控制设备，简化了过程控制和监控。AKRION GAMA提供了广泛的流程解决方桉。该站完全可配置，可以处理不同的基材，包括硅、介电、氮化硅、铜等金属。它是一个模块化的车站，可以集成到一个更大的系统中。GAMA采用密封表面和排气设计，使其成为安全环保的湿式车站。加工化学品储存在密封的容器中，这些容器自动装入加工室。这样可以防止任何有害物质进入环境。AKRION GAMA配备了一个超高分辨率的光学单元，可以进行精确的检查和对准。多个过程化学室可用于各种应用。该站还包括差速泵，用于精确计量流体，以达到最佳工艺效果。此外,该站的温度控制机在大批量生产运行期间确保一致的结果。GAMA在过程适应和优化方面提供了灵活性。直观的图形用户界面和配方编辑器使工作站易于设置和编程。该软件高度可定制,能够处理多达50个不同的流程。软件还允许手动控制过程参数以获得最佳结果。AKRION GAMA是一个可靠耐用的湿式站，具有良好的蚀刻和清洁性能记录。该湿式站具有良好的工艺控制和可重复性,确保了良好的设备产量和可靠性.是微电子器件制造应用的理想湿式站。