二手 AKRION GAMA #9278669 待售

AKRION GAMA
製造商
AKRION
模型
GAMA
ID: 9278669
晶圆大小: 6"
优质的: 1997
Wet bench, 6" Configuration: SMS H3P04 Bench Process: Nitride/Oxide wet etch 1997 vintage.
AKRION GAMA是半导体电路生产中金属预处理和蚀刻的湿式站。它用于利用不同金属的不同各向异性特性在金属中产生图样。该站使用强大的氧化剂将金属溶解成所需的模式。GAMA一般由反应室、蚀刻室、蚀刻器和化学加工系统四个主要组成部分组成。蚀刻剂是一种强大的氧化剂,通常是酸或酸的溷合物。这种制剂在适当的比例和适当的条件下使用时,会溶解特定的金属以产生所需的模式。反应室是引入蚀刻剂并进行蚀刻过程的区域。反应室通过密封的、流体密封的容器与现实世界隔开。这个容器被称为蚀刻室。蚀刻室装有多种部件。其中包括蒸汽密封室、金属填充物和挡板,以确保蚀刻工艺得到优化。化学加工系统能准确测量蚀刻剂并控制蚀刻剂的流动。它类似于一个计算机程序,可以调整到精确的蚀刻参数,以达到期望的结果。该系统还必须进行校准,以保持精确和均匀的金属溶解。一旦选择了适当的配方,蚀刻溶液就被倒入蚀刻室。温度升高,反应金属在蚀刻室表面汽化。随着金属蒸发,它与蚀刻剂结合,开始形成图样。工艺的精确度取决于蚀刻浓度和温度的精确控制。AKRION GAMA是一个强大的金属蚀刻和预处理站,可以依靠它来创建所需的精确模式。它允许精确控制参数,以确保金属以均匀的方式被去除。GAMA可用于复杂金属半导体元件的生产,是半导体工业的宝贵工具。
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