二手 AKRION Mach2HP #9209820 待售

AKRION Mach2HP湿站是一种强大、先进的湿式化学加工设备，用于基材清洁、表面制备和蚀刻以及涂层热处理。该站具有三个独特的模块，可精确处理各种尺寸和形状的基板，包括单晶圆和平板尺寸。模块包括旋转速度可调的化学处理室、喷雾室和自旋冲洗单元。Mach2HP化学加工室设计用于清洁、制备、蚀刻和加工基材。它完全可编程,能够精确控制参数,如旋转速度、时间、温度和压力。该腔室配有液体供应、排气、循环和过滤罐，使其能够以闭环形式运行。最重要的是，该站设计成在水平或浸没环境中工作，温度适合清洁和蚀刻各种基板。AKRION Mach2HP喷雾室用于对基材进行均匀处理。双轴可调旋转木马可实现精确涂层、喷涂和蚀刻操作。该站能够处理一、二和三维物体，包括单晶圆和平板尺寸。此外，喷雾室还配备了温度感应探头和多个接入口，用于非接触式温度测量。Mach2HP的自旋冲洗装置用于去除涂层热处理前后基板上的任何多余残留物。该单元是一个强大的两轴电动平台，具有可调的旋转速度，能够精确冲洗和干燥基板。它被设计成可以在很大的温度范围内工作，内置的温度控制系统允许精确控制蒸发速率。总体而言,AKRION Mach2HP湿站是一个强大的基板湿处理单元,旨在精确清洁、制备、蚀刻和加工各种形状和尺寸的基板。模块化机器非常适合各种行业，从电子到可再生能源，在安全、闭环的工具中提供对基板的精确控制和统一处理。