二手 AKRION UP-V2 SA 2000 #293647712 待售
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AKRION UP-V2 SA 2000是一个湿蚀刻室站，专门设计用于半导体和其他微电子元件的高精度加工和制造。该站能够获得极其准确的结果，对底层基板的附带损害最小。该站采用双反向旋转主轴装置，将高压流体引向基板，使蚀刻剂的应用非常精确。该站还包括带风扇喷嘴的直列式生成喷雾系统，有助于提高工艺的均匀性和质量。该站还包括一个加热晶片台，以确保均匀的加工温度，以及一个高灵敏度的氧气/氙气溷合物，从而确保在基材上的最佳蚀刻速率和均匀性。内置的计量系统允许对蚀刻速率和处理的均匀性进行精确和自动化的测量,有助于最大限度地减少停机时间并提高吞吐量。该系统还能够监测和控制反应参数，以确保最佳可重复性和过程控制。总体而言,UP-V2 SA 2000为半导体行业提供了一个强大而高效的湿蚀刻处理解决方桉。它结合了精度、速度和准确性，产生了高质量的产品，消除了生产过程中的浪费和不必要的时间和人员投入。
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