二手 AKRION UP-V2 SA 3000 #9244629 待售
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AKRION UP-V2 SA 3000湿站是一个灵活、高度自动化的晶圆处理平台,提供半导体晶圆的精密化学表面清洗。它是射频(RF)元件后端处理使用最广泛的湿式站之一。这个湿站提供从简单清洁到复杂蚀刻过程的一系列湿化处理。UP-V2 SA 3000可为各种应用提供高通量和可重复的操作,包括光致抗蚀剂剥离、有机污染去除和铜条。AKRION UP-V2 SA 3000采用垂直模块化体系结构设计。配置由一个基模、盖模、晶圆载波和多个北斗七星臂组成。基本模块最多支持十个预先对齐的驱动程序、传感和控制电子设备模块。UP-V2 SA 3000的核心是一个先进的高速片上系统(SoC)控制器,它为精确的晶圆跟踪和视觉提供实时数据。先进的北斗七星臂为晶圆的精密表面清洁提供手动或全自动操作。AKRION UP-V2 SA 3000配备了一系列独特的湿法处理化学物质,包括中性和酸性溶液、光阻去除剂、表面活性剂和其他清洁溶液。车站设计有多层内置安全特性。一个自动系统关机功能保护晶片免受危险化学物质的影响,以及一个多晶片安全检测器监视器,用于晶片干扰或放置错误的晶片。UP-V2 SA 3000采用耐用材料,具有优异的可靠性、耐腐蚀性和耐化学性。该站还设有专用的认证和数据传输端口,以便与自动晶圆质量控制系统兼容。此外,AKRION UP-V2 SA 3000还提供网络功能以提高工作效率。总体而言,UP-V2 SA 3000是一个可靠和直观的湿式站,用于最先进的半导体晶片表面清洁。该站能够以高精度、可重复的结果预制高通量过程。AKRION UP-V2 SA 3000具有多种安全功能,旨在提供最佳晶圆保护和直观的联网功能,是半导体湿处理设施的理想选择。
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