二手 ASE Etcher #293665553 待售
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ASE Etcher是一个湿式站,用于半导体加工,蚀刻掉不需要的材料,准备一个硅器件进行包装。蚀刻过程包括将基材暴露在化学浴中,以去除各种表面层。蚀刻器包含一个溶液浴,根据要蚀刻的材料可以用不同的溶液填充。蚀刻过程精度很高,可以通过调整蚀刻过程的温度、浓度和持续时间来控制。它配备了传感器和设备,可以监控化学浴,允许精确蚀刻。ASE Etcher采用化学源载体(CSC)设计。CSC是一个机器人系统,被编程为分配蚀刻中使用的不同化学物质。根据蚀刻工艺的不同,可以使用不同类型的化学品,如酸、溶剂或磨料。CSC还可用于分配冲洗溶液,用于在蚀刻循环之间清洁基板。CSC能够控制蚀刻溶液的浓度、温度、搅拌和流量。蚀刻器配有加热器和冷却系统,可以调节浴缸温度,提供一个非常适合蚀刻过程的环境。此外,ASE Etcher还配备了大量的泵和管道,有助于控制溶液的流动和调节温度。这样可以提高蚀刻过程的精确度并提高结果。蚀刻器还具有多种安全功能,有助于保护操作员免受危险烟雾和泄漏。它配有防爆盖、溢流检测系统和水冷墙,有助于防止积聚热量或危险蒸气。此外,烟雾提取器有助于提取蚀刻过程中产生的任何有害烟雾和蒸气。总体而言,ASE Etcher是一个高度精确高效的湿式站,非常适合蚀刻和制备硅或其他用于包装的基板。它具有多种安全功能,可帮助确保操作员在进行蚀刻过程时保持安全。机器人化学来源载体可以帮助准确控制蚀刻过程,提供一致的结果。
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