二手 DNS / DAINIPPON FC-3000 #293812992 待售

DNS / DAINIPPON FC-3000
ID: 293812992
晶圆大小: 12"
Wet station, 12".
DNS/DAINIPPON FC-3000是一个用于半导体加工、液晶平板显示器、生物技术和航空航天应用等应用的湿式站。它是一个自给自足的自动化设备,包括集成晶圆/基板处理、化学溶液输送、模块通信繁忙接口,以及多个过程配置。该系统采用专有的先进干燥技术,以确保湿法工艺结果一致和准确,液体覆盖范围均匀,冲洗量最小化。先进的流体分离技术确保精细的清洁和最小的溶剂排放。DNS FC3000提供了广泛的特性和功能。它旨在提供高度的控制、灵活性和成本节约。采用模块化、不锈钢框架和坚固的设计,该装置最多可处理四个加工机器人或手套箱,以获得最佳性能。它具有几个用户可编程功能和中继,用于进程调度、警报设置点、时间控制和存储框名称。它还可以提供有关流体水平、泵的数据和机器操作状态的信息。此外,基于Windows的图形用户界面易于使用,可方便地操作各种功能。DAINIPPON FC 3000能够提供精确的湿法处理。设有内建湿式车站月台,容许更高的解析度和准确度。模块可以由单独的专用中央控制器工具控制,提供连续的实时数据反馈。此外,该资产还配备了内置的自我诊断模型,为高效可靠的运行提供了宝贵的维护信息。该设备具有广泛的化学特性,提供适合各种应用的选择。此外,它还附有一个独特的先进温度系统,用于优化温度调节,以及一个彻底的溷合机制,以创建一致结果的均匀解。DNS FC 3000非常适合半导体加工、LCD平板显示器制造、生物技术和航空航天应用,需要卓越的湿站能力。它提供精确的湿法处理,具有易于控制和高度可靠的模块。此外,该单元还具有内置的自诊断机、嵌入式化学装置和先进的热装置,可实现高度定制和控制。
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