二手 DNS / DAINIPPON FC-3000 #9000962 待售

DNS/DAINIPPON FC-3000是一个湿式工作站，设计用于湿法加工晶片基板在先进的半导体制造应用。它具有湿式化学清洁和其他先进的加工能力，能够在一次运行中容纳多达14个晶片。它广泛用于研发实验室以及生产设施。DNS FC3000的核心是其初级处理罐。该罐装有一个由用户定义的参数组成的液浴，其设计目的是通过动态和精确的清洗过程同时清洁、蚀刻和将材料沉积到晶片上。该储罐包含一个主腔室，该主腔室装有四个搅拌器以保持浴缸运动，以及一个产生吸力效果的旋转泵，鼓励晶片通过储罐。该罐还装有十六个端口，每个端口都装有多个单独的喷嘴，用湿的化学溶液喷雾包围晶片。这允许精确和均匀的化学应用，并允许同时处理多个晶片。DAINIPPON FC 3000的主要特点之一是其先进的安全机制。设备全封闭，减少操作员接触危险化学品，并装有压力和温度传感器，可快速检测系统故障，将其关闭，并提醒操作员注意问题。DAINIPPON FC3000还装有泄漏检测装置和气压控制机。FC3000提供了一系列处理功能,包括降序、蚀刻、剥离、抗去除、钝化和涂层。它可以容纳范围广泛的晶圆大小，能够一次处理多个晶圆。该工具还能够每个端口一次处理多达五个晶片,从而实现快速周转时间和更大的吞吐量。DNS FC-3000是先进研发实验室以及生产设施的理想工具。其先进的安全特性、高精度的过程控制以及自动化的参数确保了可靠的运行和一致的结果。它是一种高度通用的工具,能够提供多种处理功能,并且能够容纳多种晶圆大小。DNS/DAINIPPON FC 3000是先进半导体制造应用的绝佳选择，可以提供经济高效且高度可靠的湿处理解决方桉。