二手 DNS / DAINIPPON FC-3000 #9210946 待售

DNS/DAINIPPON FC-3000是一个用于高级光刻加工的湿站。该设备采用DIOS（有机溶剂的直接成像）工艺，具有精确定位光掩模的精密阶段。该系统还配备了发光二极管（LED）放映机和曝光传感器,可实现高通量的精确生产,不需要干膜涂层。该单元可以以0.5微米或以下的分辨率处理直径在5到300毫米之间的晶片，成为纳米级器件打印的理想选择。此外，该机内置微型定位电机和快速对准工具，使其能够保持精确对准和可重现的精度，这对于高分辨率光刻系统至关重要。DNS FC3000设计用于处理多种光掩模,包括采用镀铬掩码、电子束掩码、金属密封、防反射（AR）和彩色滤镜（CF）技术制造的光掩模。资产的DIOS过程允许不受光掩码缺陷影响的快速曝光时间,以及打印横向和垂直通道以实现优越的模式再现。DAINIPPON FC 3000具有一系列软件功能和工具,可确保操作员完全控制光刻处理的所有方面。这些工具包括用于确定适当的曝光时间、在掩蔽系统之间管理和传输数据以及控制焦点和曝光参数的工具。该模型还包括直观的用户界面和自动测试功能,以快速确保所需的结果质量。此外，设备还集成了一系列集成的校准/计量解决方桉，使操作员能够保持过程控制的最高精度。这确保了光掩模和目标图样之间的偏差可以在光刻过程中被检测和纠正。总体而言,DNS/DAINIPPON FC 3000是一个先进的湿式工作站,旨在满足对精密光刻加工的最高期望。它具有DIOS流程、快速对齐系统和一系列软件功能,以确保每次都能获得准确的结果。凭借其集成的校准/计量解决方桉和直观的用户界面，该单元是生产具有高重复性和准确性的纳米级器件的理想选择。